3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
真空搬送ロボット(基板 搬送) - メーカー・企業と製品の一覧
真空搬送ロボットの製品一覧
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真空搬送ロボット
クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】
真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応） ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
